Создана отечественная система напыления тонких пленок в микроэлектронике

МОСКВА, 22 ноября. Специалисты Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) разработали и запатентовали первое отечественное устройство для создания аэрозолем тонкопленочных покрытий в микроэлектронике, говорится в сообщении пресс-службы ТУСУР.

"Существующие технологии работают по плоским поверхностям. Уникальность новой технологии - в возможности нанесения материалов на криволинейные поверхности, например, поверхность шара, причем внутреннюю. Подобных отечественных технологий в России нет. Новая технология открывает возможности применения иных принципов конструирования печатных узлов: когда печатная плата, которая сейчас используется, исключается полностью, а формирование проводящих дорожек осуществляется прямо на корпусе изделия", - приводит пресс-служба слова заведующего кафедрой радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга университета Василия Туева.

Работа по созданию новой технологии аэрозольного нанесения материалов в микроэлектронике началась в ТУСУРе в 2020 году. Непосредственно разработкой устройства занимался студент ТУСУРа Дмитрий Жаворонков под научным руководством Туева.

Нанесение мелкодисперсного состава с растворенными материалами с помощью аэрозоля позволяет добиваться формирования пленок нужной толщины, начиная от нанометровых значений. Однако эта аэрозольная технология требует высокой точности, к примеру, нежелательно, чтобы диаметр пучка превышал 50 микрометров. Запатентованное устройство станет частью принтера для нанесения проводящих дорожек на сложных поверхностях.